检漏时，示漏物质可用氢，二氧化碳，丙酮。。酒精等。一般说来，用气体喷吹用液体掩盖为好，由于液体往往会阻塞漏孔，还会污染真空体系或器材，热由于惯性大，反响慢，检漏时巡喷速度不宜过快，并仔仔细细地调查，仔细判别是体系的压强动摇，仪器的漂移或是真实存在漏孔。只要示漏物质脱离后，仪器指示恢复原状的，才是真实的漏孔。热真空计检漏，要在它的丈量规模的
电离计的反响热真空计快，但因示漏气体在真空体系中树立满足分压要比较长时刻，故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力规模，大致同于其丈量规模，故许多类型电离计各有其检漏的压力规模。电离计能检的最小可检漏孔约为1*10-6——1*10-7托升/秒。
在真空计检漏中，即便示漏气体对着漏孔喷吹。或许示漏液体涂于漏孔，实际上都不可避免要夹藏有空气进去，即示漏物质并没有完全替代空气。带进去的空气一方面减弱了示漏物质的效果，另一方面还会引起不必要的读数动摇，由于混进的空气重量时大时小。
