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【48812】晶合集成取得实用新型专利授权:“一种半导体真空计体系及其使用的半导体设备”

来源:江南app下载安卓    发布时间:2024-07-27 03:58:36

  证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现晶合集成(688249)新取得一项实用新型专利授权,专利名为“一种半导体真空计体系及其使用的半导体设备”,专利申请号为CN8.7,授权日为2024年5月28日。

  专利摘要:本实用新型供给一种半导体真空计体系及其使用的半导体设备,真空计体系包含:至少两个真空计,装置于真空腔室的侧壁上;阻隔盒,坐落所述真空腔室内,每个所述真空计的一端坐落所述阻隔盒内;以及阀门,装置于所述阻隔盒的外壁上。本实用新型可进步半导体真空机台的检测精度,添加真空机台的出产功率。

  今年以来晶合集成新取得专利授权140个,较去年同期添加了129.51%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研制方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。

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