金融界 2024 年 8 月 31 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司请求一项名为“一种用于腐蚀性气体腐蚀测验的低真空试验设备“，公开号 CN9.6 ，请求日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显现，本发明公开了一种用于腐蚀性气体腐蚀测验的低真空试验设备，包含线）、排气线）、加热器、温度探测器（5）、氟气浓度探测器（4）、线）的探头向内延伸至样品方法区域，用于丈量样品周围的实时温度，线）丈量线）内部的线）经过阀体通断合作，完成低真空试验设备的真空坚持、气体单向排出及气体内部循环活动，当氟气浓度低于设定数值时，试验设备主动排气、抽真空、弥补氟气，氟气浓度及真空度达均到达设定数值后，试验设备敞开气体内部循环活动功用，便于腐蚀性气体进行腐蚀测验。
