真空计，也称为真空表计和真空规管，是经过丈量真空下气体的压力来判别真空度的凹凸，大规模的使用在科研和工业生产。
依据真空计丈量原理所选用的不同物理机制，真空计首要可分为三类：使用力学性能（如波尔登真空计和薄膜电容规）、使用气体动力学效应（如皮拉尼电阻规和热电偶规）和使用带电粒子效应（热阴极电离规和冷阴极电离规）。
关于每一个等级内的真空度，最佳的丈量仪器是不一样的，具体来说，若处于中低真空的规模，一般选用皮拉尼规真空计、电容式薄膜真空规和压阻式真空规进行丈量。
根据热导式原理，在玻璃管壳中装置一根金属丝，给金属丝通热发电，使其温度高于周围气体和管壳的温度，所以在热丝和管壳之间产生热传导。当到达热平衡时，热丝的温度决定于气体热对流。在必定的压力规模内，气体压力越高，传导的热量就越多，热平衡后金属丝温度就越低。即电阻丝的温度与气体压力存在负相关的联系，经过金属丝的温度能核算气体压力。
膜片因压力改变而产生弹性偏移，偏移量的改变引起电容量的改变，最后由数字电路丈量并转换成输出信号。AGP21 系列电容薄膜真空规使用了 Inconel 资料，可耐受腐蚀性工艺介质。
压阻式真空规的作业原理是根据半导体资料的压阻效应。当外部压力作用在真空规内部的金属膜片上时，金属膜片会产生细小的形变，导致内部电路中的电阻值产生显着的改变。这种电阻值的改变能够精确地丈量出来，并转换成相应的压力或线系列归于肯定压力真空规，能够丈量十分小的压力和真空度，不受气体和品种的影响，精度到达±0.5%FS，供给模仿电压输出，具有精度高、稳定性高、抗腐蚀性强等长处。
