、超快速阻变材料电学检测体系、高档型原子层堆积体系、高通量主动化小试催化剂制备设备、高分辩质谱仪
本项目拟收购仪器供给变温环境下晶圆在片级铁电材料功用表征，为铁电材料研讨供给准确和全面的的测验才能，详细要害方针如下： 1.电滞回线V，电流1pA to 1A； 3.疲惫实测频率高达16 MHz； 4.支撑在片晶圆级铁电测验才能，最大支撑值8英寸晶圆； 5.供给wafer mapping才能； 6.供给晶圆在片测验变温测验环境：-40℃ to 300℃； 7.高低温下主动换片功用； 8.噪声电平≤-180 dBVrms/rtHz (≤1 MHz)。
本项目拟收购仪器可完结方针器材简直一切的静态以及超快特性表征，为新式器材先进才能研讨奠定坚实的测验才能，契合铁电极化超快速回转的的表征要求，详细要害方针如下： 1.可完成8×8阵列存储特性晶圆级最小脉冲宽度100 ps电压应力； 2.支撑单器材以及矩阵高速脉冲信号测验，最高8通道脉冲并行输出； 3.体系支撑直流测验最小电流分辩率0.01fA； 4.信号采样：采样率100GSa/s，4通道，33GHz带宽测验才能； 5.最高40V窄脉冲幅度测验才能； 6.支撑多器材直流静态测验； 7.各类型阻变中心器材晶体管，二极管等器材直流静态测验； 8.集成数据剖析主动完成体系操控，针对阵列芯片立异性供给3D数据剖析包含直流特性，脉冲特性及可靠性特性。
本项目拟收购仪器大多数都用在厚度为几个纳米的氧化物、氮化物、金属薄膜、高介电膜制备（比方AlScN、AlBN、ZnMgO、TiN、HfZrO等）。一起，需求具有不出腔体，接连堆积叠层或顶电极的才能，用于高功用器材制备，详细要害方针如下： 1.装片尺度：8寸且向下兼容； 2.反响腔体数量：2； 3.腔体品种：Thermal≥1，Plasma≥1； 4.全主动线.叠层堆积：无需出腔，可完成双腔接连堆积； 6.薄膜品种：满意氧化物，氮化物，金属等薄膜堆积； 7.温度温控：温度规模；50-650℃，温控精度±1℃； 8.其他：等离子功率可调规模大，上限功率3000W，频率2.45 GHz，装备臭氧发生器； 9.厚度不均匀性：氧化物≤2%，氮化物或金属≤5%。
1、设备零部件收购：一批主动化设备零部件，高压压力操控器、气动阀、球阀、三通阀、压力表等，185万元 2、羰基组成平行反响釜小试设备，2台，100万元 3、电感耦合等离子体质谱仪，150万元 4、主动化平行反响作业器，100万元 5、多通道催化转化点评设备，280万元 6、黄金管-气质联用耦合设备，200万元 7、气固传热剖析与调控试验台，315万元 8、高温多维度可视化流化床试验体系，52万元。
本收购项目包含浮潜标及传感器模型124台（套、件）最重要的包含系列化海洋生态传感器模型17台（套、件）；系列化电极、电磁式温盐深传感器模型23台（套、件）；系列化扔掉式温盐深传感器模型10台（套、件）；系列化水文气候传感器模型26台（套、件）；系列化水文主动观测体系模型12台（套、件）；系列化船只气候仪模型8台（套、件）；系列化海洋材料浮标模型18台（套、件）；系列化水声勘探仪器模型10台（套、件）。
用于半导体直流器材/射频器材的测验，首要技术方针包含：1.中电流SMU模块可供给30V/1A的IV测验才能，电流丈量最小分辩率是10pA，电压丈量最小分辩率是0.2μV；2.能支撑±25V高电压偏置下的CV测验，电容测验频率规模为1kHz~5MHz；3. 能支撑超快速丈量脉冲IV和瞬态IV测验，波形生成可编程分辩率小于10ns，一起具有高速IV丈量才能(200 MSa/s, 5 ns采样率)等；4.主机是Windows 10操作体系，供给半导体测验软件等。
1、在线视频显微镜和图画剖析体系，1台，120万元 2、多通道微型点评设备，1台，250万元 3、差示扫描量热仪，1台，100万元 4、气相质谱-色谱联用仪，1台，120万元 5、撬装式污染物操控与点评体系，1套，501万元 6、四通道固定床及均相反响器耦合试验体系，1套，105万元 7、100kW宽负荷污染物操控CFB试验体系，1套，160万元 8、进口高速摄像机（是非，五颜六色），2台，108万元 9、高通量主动化小试催化剂制备设备，1套，1800万元，拟收购进口产品 10、高湿组分傅里叶红外气体剖析仪，1台，315万元 11、低温烟气污染物一体化脱除设备，1套，120万元 12、多元燃料气固反响原位红外点评体系，1台，230万元 13、PILF/PIV，1套，572万元 14、高温循环流化床试验台，1套，150万元
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